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論文

Role of UV light illumination and DMF soaking in production of PET ion track membranes

Zhu, Z.; 前川康成; 越川博; 鈴木康之; 米澤宣行*; 吉田勝

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 217(3), p.449 - 456, 2004/05

https://doi.org/10.1016/j.nimb.2003.11.011

被引用回数：20 パーセンタイル：76.47(Instruments & Instrumentation)

イオン穿孔膜の電子デバイスや分離膜への応用を目的に、イオン穿孔膜微細孔の孔径分布を小さくする(均一な微細孔を作る)ため、イオンビーム照射後のポリエチレンナフタレート(PET)膜への紫外線照射効果、DMF等の有機溶媒への浸蹟効果について検討した。波長が310nm以上の紫外線照射と30分以上のDMF処理を組合せることで、イオンビームダメージ領域のエッチング感度が25倍向上し、孔径が50nm以下の円柱状孔が作製できることを見いだした。